石墨烯等二维原子晶体薄片样品的光学衬度计算及其层数表征

作者：韩文鹏; 史衍猛; 李晓莉; 罗师强; 鲁妍; 谭平恒

来源：Acta Physica Sinica, 2013, (11): 168-174.

• 二维原子晶体材料
• 层数
• 传输矩阵
• 光学衬度 two-dimensional atomic crystals
• multilayer
• the transfer matrix
• optical contrast

本文以鉴别机械剥离法制备的高质量石墨烯样品的层数为例,阐明了如何利用传输矩阵来计算二维原子晶体薄片样品的光学衬度,并进一步精确地鉴别其层数.计算结果表明测试时所选用的显微物镜数值孔径对精确确定薄片样品的层数非常重要,并为实验所证实.同时提出了使用两个激光波长可以快速地表征样品尺寸接近物镜衍射极限的薄片样品层数的方法.本文所采用的传输矩阵形式非常适合于计算二维原子晶体薄片样品的光学衬度,并可以方便地推广到更复杂的多层衬底结构,以便快速和准确地鉴别各种衬底上二维原子晶体薄片样品的厚度.

• 单位
  中国科学院半导体研究所; 半导体超晶格国家重点实验室