科研之友
微信
新浪微博
Facebook
分享链接
摘要
为测量高能激光传输系统中大口径高反射率光学元件的反射率，设计了一种大口径光学元件二维扫描的精密测量系统。介绍了该系统的结构及其工作原理，分析了影响系统测量精度的因素，从理论上分析了扫描系统的系统误差对测量精度的影响，结果表明在垂直于光束传播方向上，水平偏差在0.29 mm时，测量误差在10-6量级；腔长的变化量较小时，可通过对衰荡腔腔镜的调节,实现对旋转轴偏差的补偿及对系统的精细调节。通过拟合处理光强与时间的数据得到对应的一次指数函数拟合曲线，并通过计算得到衰荡时间和反射率，经过对比分析可知，该误差分析方法能比较有效地测量腔镜的反射率,并能减小实验数据本身带来的误差。
- 单位
