在靶参数检验过程中，发现应用测量显微镜测量黑腔、芯轴等圆柱形零件的直径时，其测量值始终偏小。因此，本文通过理论分析和实验验证，明确了问题产生的原因，即不平行光照明造成底光照明模式下圆柱直径测量值偏小，提出了采用平行光照明方式解决该问题的技术方案，并开展了相应的测试验证。结果表明，本文所建议的测量方案使微型圆柱直径测量误差大为降低，其测量误差约1μm。
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