激光晶体位错蚀坑的SEM研究

作者：权纪亮; 谢致薇; 杨元政; 陈先朝; 李文涛; 刘了; 武南平

来源：人工晶体学报, 2009, (04): 1004-1007.

DOI：10.16553/j.cnki.issn1000-985x.2009.04.003

• 扫描电镜
• 能谱
• 激光晶体
• 位错 scanning electron microscopy(SEM)
• EDS
• laser crystal
• dislocation

利用扫描电镜(SEM)及能谱(EDS)技术研究激光晶体缺陷,给出了经腐蚀过后Nd∶YAG晶体表面位错蚀坑的清晰图片和元素分布定量信息,同时进行了对比实验,并对实验结果进行了分析。结果表明:Nd∶YAG晶体位错腐蚀坑呈三角锥状,腐蚀坑杂质元素分布较多,主要元素含量偏离晶体完整区成份;位错腐蚀坑稀疏区与密堆区元素分布及含量不同。并讨论了位错成因。

• 单位
  广东工业大学; 广州半导体材料研究所