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摘要
本实用新型公开了用于制备凹槽栅增强型器件的精准刻蚀装置。本实用新型提供的装置包括电感耦合等离子体刻蚀腔、电流检测装置、电感线圈、射频源、机械泵及分子泵；电流检测装置与电感耦合等离子体刻蚀腔连接；电感线圈与电感耦合等离子体刻蚀腔连接；射频源与电感线圈连接；机械泵和分子泵与电感耦合等离子体刻蚀腔连接。该装置在制备HEMT器件的过程中,当显示电流为零时,二维电子气沟道被关断,达到刻蚀终点,避免过度刻蚀造成栅极漏电及损伤二维电子气沟道,实现精准刻蚀。本实用新型仅额外接一个电流检测装置,无需增添额外的操作步骤,即可实现精确刻蚀,操作简便,有利于提高增强型HEMT器件产品良率,具有很高的实用价值。
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