本发明公开了一种表面态陷阱对器件输出特性影响的测量方法,主要解决目前无法单独测量表面态陷阱对器件输出特性影响的问题；其实现方案是：首先在被测器件的源极和漏极之间再新制作一个栅极,形成双栅结构；再测量器件的输出电流；接着对被测器件施加脉冲电压填充器件表面态陷阱；填充完毕后,停止施加脉冲电压,测量器件的输出电流,最后计算得到器件表面态陷阱对器件输出特性的影响。本发明具有测试电路简单,测试结果可靠的优点,可用于研究器件的电流崩塌效应,进一步提高器件的工艺优化和可靠性分析。
科研之友
微信
新浪微博
Facebook
分享链接
