离子注入机用吸极电源的设计

作者：金则军

来源：电子工业专用设备, 2022, 51(03): 48-60.

• 离子注入机
• 吸极电源
• 双层倍压

介绍了离子注入机用的最大电压为100 kV、引出电流为24 m A的吸极电源设计。由于吸极电源的电压非常高，电源的尺寸应尽量小；而且吸极电源的高压输出线要采用插拔方式，并对吸极电源的绝缘提出了非常高要求。为此，提出了一种双层的倍压结构设计和采用倍压整流电路整体部件化的设计方案。