肖特基二极管氢气传感器的试验研究

作者：孙延玉; 周岩; 程振乾; 李慧颖; 文吉延; 金鹏飞

来源：传感器与微系统, 2019, 38(09): 28-33.

DOI：10.13873/J.1000-9787(2019)09-0028-02

• 肖特基二极管
• 氢气
• 气体传感器

报道了一种肖特基二极管氢气传感器。氢气在肖特基二极管的钯金属膜上发生化学吸附后,解离为氢原子,并扩散到钯金属膜内部,引起肖特基二极管的势垒下降,导致电流/电压曲线漂移,从而实现氢气的检测。本试验采用溅射方法制备钯膜,对其敏感特性进行测试,实验结果表明:对氢气响应特性好,测量范围为(0～10 000)×10-6。

• 单位
  中国电子科技集团公司第四十九研究所