微机电系统麦克风灵敏度不确定性分析

作者：刘雷; 贾仁需

来源：西安电子科技大学学报, 2019, 46(06): 23-29.

DOI：10.19665/j.issn1001-2400.2019.06.004

• 神经网络
• 拉丁超立方蒙特卡罗模拟
• 微机电系统麦克风
• 灵敏度分析
• 概率分布

由于制造工艺造成振膜参数偏差导致了微机电系统麦克风灵敏度的不确定性,为了减少计算时间,提高仿真效率,提出基于人工神经网络的拉丁超立方蒙特卡罗模拟,以分析多晶硅圆形固支振膜麦克风灵敏度的不确定性。实验结果表明,麦克风灵敏度的合格率为92.9%,仿真耗时小于10s。相比传统随机采样蒙特卡罗模拟,相同仿真精度拉丁超立方采样数仅为传统采样的11%;研究了振膜参数对麦克风灵敏度概率分布的影响。采用正态分布拟合仿真结果,得到灵敏度分布的均值与标准差。计算结果表明,振膜半径对灵敏度分布的影响最为明显,厚度的影响次之,弹性模量只影响分布的均值,不影响标准差。拉丁超立方蒙特卡罗模拟是一种分析麦克风灵敏度不确定性的高精度、高效率方法。

• 单位
  西安电子科技大学