科研之友
微信
新浪微博
Facebook
分享链接
摘要
微测辐射热计结构的电阻温度系数(TCR)及其电阻值对非致冷红外焦平面探测器的性能有极大影响。基于精确的微测辐射热计三维模型,采用热电偶合有限元方法,分析了其电学特性,针对所建立模型,加载0.510μA的直流偏置电流,得到各偏置下的温度及电势相应特性,并由此获取了不同温度下结构的电阻值,进而推导出一定温度内整个模型的TCR,从而为后端读出电路的设计提供参考。最后对实际制备的器件进行测试,验证了该方法的可靠性。
-
单位电子科技大学; 光电信息学院; 电子薄膜与集成器件国家重点实验室
