退火Ar流速对VO2薄膜热致变色光学性能的影响研究

作者：王嘉威; 尤子未; 许嘉俊; 郑嘉俊; 李派^*

来源：湖北大学学报(自然科学版), 2022, 44(06): 721-726.

• VO2薄膜
• Ar流速
• ΔTIR
• Tlum
• 智能窗涂层

本工作采用溶胶-凝胶法，以石英玻璃为衬底，乙酰丙酮氧钒(VO(acac)2)为钒源，高纯Ar为保护气体，在真空管式炉中以不同流速的Ar气氛下进行退火处理，制备出一系列具有不同热致变色性能的VO2薄膜.采用XRD、FE-SEM、XPS、紫外-可见-近红外光谱仪表征薄膜的结构、表面形貌、V元素的价态、热致变色光学性能.结果表明：随着Ar流速的上升，VO2薄膜的结晶质量持续下降，薄膜的近红外调节能力先上升后下降.当Ar流速为225 mL/min时，制备的VO2薄膜综合性能最优：近红外调控效率(ΔTIR)达到20.2%,可见光透过率(Tlum)为55.5%.

• 单位
  湖北大学