本发明公开了一种超声振动辅助扫描射流电沉积方法及装置,将超声的高频振动直接作用于工件基底的底部,从而传递到工件基底表面上方的液流层,超声空化效应可以加速基底表面的液流层离子的传输效率,从而加速沉积效率,另一方面,超声的高频振动可以将沉积过程中阴极表面产生的气泡剪切驱散,抑制阴极表面气泡的产生,减少沉积层的脆氢缺陷；超声的搅拌作用可以改善金属离子和增强相粒子的分散性,使得金属离子和增强相离子均分的分散在沉积层中,从而可以改善沉积层与基底的结合性能。
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