摘要

在太赫兹频段,为解决FP干涉滤光片反射率低、适用频率范围小及角度稳定性差的问题,设计了一种新的太赫兹频率选择表面结构。首先进行仿真分析,确定了结构的硅片厚度和金属网栅层数,并对参数进行优化,之后对该结构的传输特性和角度稳定性进行仿真,该结构在入射倾斜角0°~45°范围内具有较好的稳定性,最后加工出滤光片实物对仿真结果的准确性进行验证。在太赫兹波垂直入射情况下,实物测量结果与仿真结果基本吻合,在1.34~2.34 THz频率范围内,反射率和透射率分别介于91%~98.4%和0.7%~8%,满足FP干涉滤光片高反射率、低透射率要求。该研究丰富和完善了现有太赫兹频率选择表面研究结论,在太赫兹超材料及相关功能器件制备等领域具有重要的参考意义。