超声波扫描技术在大功率半导体制造工艺中的应用

作者：赵涛; 赵卫; 刘航辉; 王梦涛

来源：内江科技, 2019, 40(02): 28.

本文通过介绍超声波扫描技术的工作原理、测试方法,利用实验对大功率器件进行现场C扫描测试分析,来诠释其在大功率半导体器件生产过程中的重要性,有效帮助我们判断器件焊接状况的可靠性,进而保证出厂芯片的合格率。

• 单位
  西安电力电子技术研究所