扫描透射电子显微镜(STEM)在新一代高K栅介质材料的应用

作者：朱信华; 李爱东; 刘治国

来源：无机材料学报, 2014, 29(12): 1233-1240.

• 扫描透射电子显微镜
• Z-衬度STEM像
• 高K柵介质材料
• 界面微结构
• 综述

扫描透射电子显微镜(STEM)原子序数衬度像(Z-衬度像)具有分辨率高(可直接"观察"到晶体中原子的真实位置)、对化学组成敏感以及图像直观易解释等优点,成为原子尺度研究材料微结构的强有力工具。本文介绍了STEM Z-衬度像成像原理、方法及技术特点,并结合具体的高K栅介质材料(如铪基金属氧化物、稀土金属氧化物和钙钛矿结构外延氧化物薄膜)对STEM在新一代高K栅介质材料研究中的应用进行了评述。目前球差校正STEM Z-衬度的像空间分辨率已达亚埃级,该技术在高K柵介质与半导体之间的界面微结构表征方面具有十分重要的应用。对此,本文亦进行了介绍。

• 单位
  南京大学; 固体微结构物理国家重点实验室