专用电子束熔炼炉真空抽气系统设计

作者：张志平; 许忠政; 张黎源; 姜正鹤

来源：真空, 2021, 58(05): 42-45.

DOI：10.13385/j.cnki.vacuum.2021.05.06

• 电子束熔炼
• 真空系统
• 放气量
• 有效抽速
• 抽气时间

专用电子束熔炼炉需要大抽速、可靠性较高的真空系统,本文简要介绍了专用电子束熔炼炉真空抽气系统的主要性能指标、设计思路和方法、系统组成,对此真空抽气系统进行了详细的计算,并为类似真空设备的研制提供有益参考。

• 单位
  核工业理化工程研究院