第二十讲 真空离子镀膜

作者：张以忱

来源：真空, 2019, 56(06): 85-86.

DOI：10.13385/j.cnki.vacuum.2019.06.16

<正>(接2019年第5期第80页)13.2.3电弧放电等离子体参数电弧放电等离子体的参数主要有电子温度Te、电离强度αe、电场强度E、带电粒子密度ni(≈ne)及等离子体电位Ui及阳极电流Ia。A等离子体电位Ui首先做如下假设:(1)除电荷层外,等离子体中ni=ne=n;(2)带电粒子的速度分布符合麦克斯韦分布;(3)电荷层厚度小于电子平均自由程,即电荷

• 单位
  东北大学