1.55μm AlGaInAs/InP小发散角量子阱激光器的仿真和制备（英文）

作者：熊迪; 郭文涛^*; 郭小峰; 刘海峰; 廖文渊; 刘维华; 张杨杰; 曹营春; 谭满清^*

来源：红外与毫米波学报, 2019, 38(04): 412-418.

• 铟磷基激光器
• 发散角
• 光场分布

理论仿真和实验制备了AlGaInAs/InP材料1. 55μm小发散角量子阱激光器.为了扩展近场光场并减小内损耗,将一个非对称模式扩展层插入到外延结构的下盖层当中.仿真结果表明,该模式扩展层除了少量增加激光器阈值电流以外,在不影响激光器其它性能的情况下能显著减小激光器的垂直远场发散角.实验结果与理论仿真高度吻合.成功制备出脊宽4μm,腔长1000μm的脊波导小发散角激光器.在端面未镀膜的情况下,该激光器阈值电流为56 mA,输出功率为17. 38 mw@120 mA,斜率效率可以达到0. 272 W/A.实验测得垂直远场发散角为29. 6°,相比较传统激光器减小了约35. 3%.

• 单位
  中国科学院半导体研究所; 中国科学院大学; 集成光电子学国家重点实验室