平板表面波纹度测量中的滤波器研究

作者：蒋光锐; 张浩; 刘李斌; 李春光; 赵振华

来源：表面技术, 2016, 45(03): 183-192.

DOI：10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2016.03.030

• 波纹度
• 滤波器
• 传输特性
• 截止波长
• 频谱特性
• 平板

目的比较3种滤波器在平板表面波纹度测量中的传输特性差异。方法采用2RC滤波器(JIS B 0610)、指数滤波器(SEP 1941)和高斯滤波器(ASME B46.1),通过频谱分析原始轮廓与不同滤波器得到的波纹度轮廓的频谱特性,对比波纹度参数差异。结果 3种滤波器的幅值特性没有振荡现象,但是高斯滤波器和指数滤波器的幅值下降速度较快,高斯滤波器和指数滤波器在截止波长处的幅值下降50%,2RC滤波器在截止波长处的幅值下降25%。高斯滤波器和指数滤波器属于无相位移动滤波器,2RC滤波器属于有相位移动的滤波器,在截止波长位置的相位移动约为1.05。在相同的截止波长下,指数滤波器与高斯滤波器的传输特性完全一致。进一步研究表明,采用2RC滤波器得到的波纹度参数Wa比采用高斯滤波器得到的高0.1μm。结论高斯滤波器和2RC滤波器均无法同时完全抑制截止波长范围以外的成分而完全保留截止波长范围之内的成分。

• 单位
  中冶京诚工程技术有限公司; 北京科技大学; 新金属材料国家重点实验室; 东北大学