用于折射率传感的聚合物基狭缝波导的模拟与制备

作者：吕桓林; 梁宇鑫; 韩秀友; 武震林; 谷一英; 赵明山^*

来源：光子学报, 2020, 49(02): 7-14.

• 集成光学
• 狭缝波导
• 聚合物
• 光学传感

设计了在极近红外波段(890nm)的聚合物基狭缝波导微环折射率传感器.分析了波导高度、宽度及狭缝宽度对灵敏度的影响,以找到最佳的设计标准用于折射率传感.采用电子束光刻工艺制备了硅母版模,并用独特的氟化聚合物PFPE从硅母版模上成功制备了柔性软模具.采用紫外软压印工艺制备了聚合物基狭缝波导.波导的宽度和高度以及狭缝波导的宽度分别约为510nm、830nm和234nm,聚合物狭缝波导残留层的厚度约为350nm.制备的狭缝波导具有高的高宽比并与低成本批量生产工艺相兼容.

• 单位
  大连理工大学; 大连工业大学