重温Pb(Zr_xTi_(1-x))O_3铁电薄膜极化疲劳问题

作者：刘俊明; 王阳

来源：物理, 2008, (05): 310-316.

• PZT铁电薄膜
• 极化疲劳
• 缺陷
• 长程迁移 PZT thin films
• polarization fatigue
• charged defects
• long-range migration

具有ABO3型钙钛矿结构的Pb(ZrxTi1-x)O3(PZT)展示出良好的铁电极化性能,是使用最广的铁电材料.然而,在将它应用于铁电存储时,PZT薄膜遭遇到极化疲劳问题而被SrBi2Ta2O9(SBT)等铁电体所替代,这一问题至今未能得到妥善解决.文章首先通过变温极化疲劳实验充分理解PZT极化疲劳的基本过程,然后有针对性地进行材料设计,获得基本无极化疲劳的PZT铁电薄膜.

• 单位
  固体微结构物理国家重点实验室