全自动涂胶设备及涂胶工艺的研究

作者：艾博; 周占福; 吕磊

来源：电子工业专用设备, 2019, 48(03): 56-59.

• 涂胶腔体
• 机械手
• 涂胶工艺

涂胶作为光刻工艺的重要环节,为了保证涂胶工艺质量,提高涂胶设备的自动化程度,减少中间污染环节,开发了一种全自动涂胶设备,通过对涂胶腔体和机械手等关键部件的改进,更好地满足了用户生产线要求;并通过对涂胶工艺中影响膜厚均匀性的重要因素进行研究、实验和分析,得出了适合用户生产线的工艺配方。

• 单位
  中国电子科技集团公司第四十五研究所