基于非线性介电薄膜的电调滤波器优化设计

作者：吴达军; 何世明; 刘兴钊; 李言荣

来源：功能材料与器件学报, 2006, (04): 299-302.

• STO
• 薄膜
• 介电性质
• 叉指电容
• 滤波器 STO
• thin film
• dielectric properties
• IDC
• filter

采用脉冲激光沉积(PLD)法在(001)MgO基片上制备出高质量的SrTiO3(STO)薄膜,构建了Au/STO/MgO结构的叉指电容。在77K、10KHz条件下,对叉指电容的特性进行了测试,结果表明:在40 kV/cm的直流电场作用下,电容值从1.75 pF减小为1.25 pF,电容值的相对变化率为28.5%。在此基础上,根据多层介质叉指电容保角变换模型。定量计算和仿真了STO薄膜的介电常数和微波频率下叉指电容的性能参数,并由此设计了一个三阶带通滤波器,该滤波器可实现13.50%的中心频率移动。