一种CrFe+(Cr,Fe)N代铬镀层及其制备方法

作者：邱万奇; 何家毅; 焦东玲; 钟喜春; 刘仲武

来源：2019-05-31, 中国, CN201910467280.X.

本发明属于金属表面强化技术领域,公开了一种CrFe+（Cr,Fe）N代铬镀层及其制备方法。所述CrFe+（Cr,Fe）N代铬镀层由CrFe和（Cr,Fe）N两相组成,其中CrFe为韧性相,（Cr,Fe）N为硬质相。其制备方法为：以CrFe合金作为靶材,在压力为0.5～1.0Pa、N2分压为5％～15％的N2/Ar混合气氛下通过磁控溅射在工件基体表面沉积制备得到CrFe+（Cr,Fe）N代铬镀层。本发明的CrFe+（Cr,Fe）N复合膜比电镀铬（Ⅵ）镀层硬度高,韧性好,是强韧性薄膜,内应力小,与基体结合力高。无氢脆和靶中毒问题。比Cr+CrN复合膜工艺窗口范围宽,成本更低。

• 单位
  华南理工大学