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摘要
针对静电放电(Electro-static Discharge,简称ESD)对芯片造成损伤的现象,研究了静电放电发生的过程及产生的原因。首先阐述了几种常见的模拟静电放电过程的模型,然后利用彩色电视机的一体式行回扫变压器作为直流高压源、串联SCR作为高压开关,设计并制作出符合IEEE Std C62,38-1994标准的ESD人体模型实验发生仪器,并对ESD人体放电模型中的body/finger模型进行了实验模拟。最后给出放电电压为4kV时测量的ESD电流脉冲波形,并与理想放电波形进行对比,其结果验证了该方案的可行性和易操作性。
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