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摘要
为了准确地设计声表滤波器，需要从参考声表面波(SAW)谐振器的测量值中提取精确的材料参数。测量SAW谐振器时，单个谐振器无法直接进行测试，需要引出传输线并使用GSG或GS探针进行测量，消除传输线影响的去嵌入过程对于SAW谐振器材料参数的准确提取非常重要。该文介绍了几种声表面波谐振器的去嵌入技术，包括Open-Short算法、电磁仿真方法、分段等效电路模型方法、集总参数等效电路法。通过实例验证了几种常用的去嵌方法并对其进行了分析。
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单位电子薄膜与集成器件国家重点实验室; 电子科技大学
