浅论非SiC类的非金属材料加热器

作者：陈龙豪; 钱虞清; 金磊; 朱从健

来源：电子工业专用设备, 2020, 49(05): 50-55.

• MoSi2加热器
• 石墨加热器
• 使用寿命
• 加热特性
• 使用注意事项

针对MoSi2和石墨这两类非金属加热器的机械、化学特性以及耐温等指标,分别进行了分析和阐述,分析了此类加热器的优缺点,介绍了加热器的加工工艺过程,提出了此类加热器的使用特点和注意事项。