La_(0.7)Sr_(0.3)MnO_3外延膜厚度引起的电阻率变化

作者：孟影; 金绍维

来源：安徽大学学报(自然科学版), 2006, (03): 58-61.

• 外延膜
• 晶格失配
• 应变驰豫
• 缺陷密度 epitaxial film
• lattice mismatch
• strain relaxation
• deficiency density

不同厚度的La0.7Sr0.3MnO3(LSMO)外延薄膜被沉积到立方相的LaA lO3(001)单晶衬底上,XRD测试结果显示,LSMO外延膜的结构是单相的,具有与衬底相同的晶格取向;随着膜厚的增加,LSMO外延膜的晶格经历应变到驰豫的变化.电阻测量显示,应变驰豫的薄膜(较厚的薄膜)有较大的电阻率,这与该膜中缺陷浓度增加有关.此外,也对生长在不同单晶衬底上的LSMO外延膜(厚度相同)的结构和电阻进行了对比研究.

• 单位
  安徽理工大学; 安徽大学