主要对飞秒激光在平板上加工微孔时的影响因素进行阐述、研究,通过试验验证了焦点位置微量变化对加工孔径的影响;同时验证了不同压力压缩气体对飞秒激光加工时的影响,选出最优辅助气体气吹压力;研究了微孔锥度影响因素,总结出焦点位置、扫描时间与微孔锥度的关系;最后将研究出的因素关系运用到批量打孔试验中,验证了该工艺技术的加工稳定性。
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