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摘要
为了提高SOI硅力敏原件和弹性敏感元件的黏合性，利用玻璃微熔技术将敏感电阻固定在敏感膜片上，研发出一款高压传感器。采用微机电系统MEMS工艺制备硅应变计，增强传感器各方面的性能。以高集成度的桥式压力传感器芯片NSA9260作为信号调理芯片，其具有三阶的非线性校准能力，校准精度较高。对高压传感器的主要指标进行检测实验，结果表明：在-40～120℃的温度区间内，压力测量范围可达50 MPa，控制精度在0.1%以内。
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单位丽水学院
