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电化学沉积DLC和CN_x薄膜的微观形貌比较
作者:陈刚; 阎兴斌; 刘惠文; 徐洮
来源:
电子显微学报
, 2004, (04): 430.
DLC
表面形貌
CN_x
化学沉积
化学镀
单位
中国科学院兰州化学物理研究所
; 固体润滑国家重点实验室
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