摘要

给出了一种低成本、规模化生产碳化硅晶须的方法。以炭黑和二氧化硅微粉为原料,对双重加热法合成碳化硅晶须进行了研究。确定了合成工艺的优化参数:二氧化硅与炭黑质量比为1.5∶1,以三氧化二铁为催化剂,用量为二氧化硅原料总质量的2%,合成温度为1 250℃,合成时间为1.5 h。该工艺条件下可以得到平均直径为0.6μm、平均长度为30μm、生成率达80%的碳化硅晶须。与常规加热相比,双重加热技术具有节能、省时、生成率高的优点。