关键尺寸扫描电镜校准及符合性评价技术研究

作者：秦凯亮; 饶张飞; 金红霞; 薛栋

来源：宇航计测技术, 2021, 41(04): 13-18.

• 晶圆级标准
• CD-SEM校准
• 不确定度
• 符合性评价

针对关键尺寸扫描电子显微镜(CD-SEM,Critical Dimension Scan Electron Microscope)的校准需求,在CD-SEM校准原理和方法研究的基础上提出了降低CD-SEM和标准样板质量属性对测量结果影响的方法,同时分析得到了标准样板同一位置可用于校准的最大次数,并通过100nm晶圆级一维栅格标准样板对Hitachi S9830CD-SEM进行了校准和测量结果的不确定度评定;基于校准结果对Hitachi S9830 CD-SEM是否满足预期使用要求进行了符合性评价。结果表明,使用S9830 CD-SEM进行关键尺寸测量时,其示值误差满足预期使用要求,故无需调整。

• 单位
  西安微电子技术研究所