长波长垂直腔面发射激光器研究

作者：谢正生; 吴惠桢; 劳燕锋; 刘成; 曹萌; 曹春芳

来源：物理, 2007, (04): 306-312.

• 垂直腔面发射激光器(VCSEL)
• 布拉格反射镜(DBR)
• 有源层
• 键合
• 隧道结 vertical-cavity surface-emitting lasers
• distributed Bragg reflectors
• active layer
• bonding
• tunnel junction

垂直腔面发射激光器(简称VCSEL)近年来受到了国内外科技界和企业界的高度关注,它在光通信领域具有潜在的应用.文章主要介绍了长波长垂直腔面发射激光器的发展历史、基本应用、器件结构、材料和制备工艺,最后分析了研制长波长VCSEL所遇到的问题及相应解决方法,并进行了展望.

• 单位
  信息功能材料国家重点实验室; 中国科学院上海微系统与信息技术研究所