SiC激光改质剥离工艺材料损耗控制技术

作者：张志耀; 牛奔

来源：电子工业专用设备, 2023, 52(03): 22-25.

• SiC衬底
• 激光剥离
• 材料损耗

论述了激光改质剥离技术的基本原理，分析了激光改质加工过程中造成材料损耗的问题，针对性提出了球差校正、温度控制、形位误差综合补偿等方法，有效减小了SiC激光改质剥离工艺过程中的材料损耗。

• 单位
  中国电子科技集团公司第二研究所