登录
免费注册
首页
论文
论文详情
赞
收藏
引用
分享
科研之友
微信
新浪微博
Facebook
分享链接
SiC激光改质剥离工艺材料损耗控制技术
作者:张志耀; 牛奔
来源:
电子工业专用设备
, 2023, 52(03): 22-25.
SiC衬底
激光剥离
材料损耗
摘要
论述了激光改质剥离技术的基本原理,分析了激光改质加工过程中造成材料损耗的问题,针对性提出了球差校正、温度控制、形位误差综合补偿等方法,有效减小了SiC激光改质剥离工艺过程中的材料损耗。
单位
中国电子科技集团公司第二研究所
相似论文
引用论文
参考文献