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摘要
<正>近年来，在诸多领域，中国制造的泵产品质量与国外先进水平差距正呈现越来越小的趋势。然而在一个特殊行业中，其所使用的泵产品还在依赖进口，“中国制造或国产化”刚刚起步，这就是半导体制造领域，主要包括光刻机浸液系统、湿法清洗机台(Wet Bench)、电子化学品系统等领域的各类流程泵。相比其他领域，半导体制造行业用泵都是比较小众的产品，有的甚至是全球仅有一家公司能够生产制造，这些泵的市场需求量虽然不大，但却是技术要求极高的产品，
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单位浙江大学; 流体动力与机电系统国家重点实验室
