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摘要
采用多弧离子镀膜技术在316L不锈钢片上制备了一系列Cr的氮化物及碳氮化物的单层膜和多层膜,对不同的膜成分的样品进行了接触电阻和电化学耐腐蚀特性的测试.通过调控生产过程中的气压、温度、反应物比例等重要参数,得到符合要求的膜结构与化学成分.结果表明,多层薄膜结构以及合适的C、N化学计量比的镀膜的抗侵蚀性优于单层.此外,膜组合物中的C和N具有优化的化学计量比,以改善电化学和电学性质.这种充分发展的工业表面处理技术可以避免从实验室到工业化的放大效应.
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单位北京航天发射技术研究所
