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摘要
微纳米间距标准样板作为微纳米几何量量值溯源体系中的重要组成部分，是纳米科技发展的基础保证。通过对微纳米间距样板作为标准物质基本要求的论述，指出了对比度、均匀性和稳定性考核在标准样板质量参数评价中的重要作用。以SEM作为测量仪器，对不同材料的样板进行了对比度测量；以CD-SEM作为测量仪器，对不同标称间距和不同生产单位的标准样板进行了均匀性、稳定性实验以及测量不确定度分析；通过质量参数评价实验和分析，为微纳米间距标准样板的制作和使用提供重要的理论依据。实验结果表明，质量参数评价在微纳米间距样板作为标准物质使用时具有十分重要的作用。
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