碲锌镉晶片精密抛光效果的影响因素分析

作者：种宝春; 徐品烈; 张文斌

来源：电子工业专用设备, 2022, 51(05): 24-28.

• 碲锌镉晶体
• 机械抛光运动
• 工艺实验设计

碲锌镉(CZT,CdZnTe)晶片是生长红外焦平面列阵所用碲镉汞(HgCdTe)薄膜的衬底材料.为了满足碲镉汞液相外延的性能要求，采用化学机械抛光可获得平面度高、粗糙度低、无损伤层的碲锌镉晶片表面。通过对抛光结构的机械运动分析，建立了抛光过程中各参数对工艺指标的影响，通过实验优化工艺参数获得高质量的抛光效果。

• 单位
  中国电子科技集团公司第四十五研究所