研究了一种三维表面粗糙度测量仪,该测量仪采用单桥差动式电感传感器,对电感信号的处理设计了基于AD598芯片的适应性好且性能优越的信号处理电路,在C++Builder开发环境中开发了三维表面粗糙度评定软件。采用仪器对标准粗糙度样件进行了二、三维表面粗糙度测量,测量结果准确可靠。仪器实现了对工件的三维粗糙度评价,结果输出方式多样,具有较好的应用前景。
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