掺硫LEC-GaP单晶载流子的分布

作者：林泉; 马英俊; 于洪国; 许兴; 马远飞; 朱显超

来源：河北大学学报(自然科学版), 2019, 39(04): 347-352.

• 高压液封直拉法
• 浮舟技术
• 范德堡法
• 载流子浓度分布

采用高压液封直拉法生长2英寸N型掺硫GaP单晶,通过浮舟技术控制直径.按照理论公式计算出掺杂量,采用范德堡法测试掺硫GaP单晶头部、中部和尾部的载流子浓度.分析了固液界面形状对载流子分布的影响,在平坦的固液界面下得到的单晶载流子分布更为均匀.探讨了浮舟控径单晶横向和纵向载流子分布及其影响因素.比较和讨论了浮舟控径和无舟计算机闭环控径单晶纵向载流子分布,表明采用浮舟控制及工艺,造成晶体生长过程中分凝系数及补偿度的变化,使得晶体纵向载流子浓度先降低后升高,提出了通过变速拉晶,可以改善单晶纵向载流子均匀性.讨论了浮舟质量对载流子分布的影响,采用质量较大的浮舟生长GaP单晶,其纵向载流子分布更均匀.

• 单位
  有研光电新材料有限责任公司; 北京有色金属研究总院