DLC在6500 V全压接晶闸管台面钝化中的应用

作者：王东东; 王政英; 高军; 银登杰

来源：电力电子技术, 2020, 54(02): 113-116.

• 晶闸管
• 类金刚石膜
• 耐压可靠性

结终端钝化材料是影响晶闸管耐压和耐压可靠性的关键因素之一。类金刚石膜(DLC)是一种优秀的钝化保护材料。在此介绍了平板电容器耦合式射频等离子体增强化学气相沉积(RF-PECVD)法,研究使用该方法在6 500 V全压接晶闸管台面沉积DLC作钝化层。对DLC钝化的晶闸管进行常规测试和型式试验,重点关注耐压和耐压可靠性,均满足国标要求。DLC作结终端钝化材料具有降低PN结终端态密度、均匀电场和屏蔽外来电场、保持PN结终端热稳定、化学性质稳定和不会老化等优势。

• 单位
  株洲中车时代电气股份有限公司