无碱硼铝硅酸盐玻璃组分对其应变点、退火点、软化点温度影响的正交实验研究

作者：赵凤阳; 曹欣^*; 王萍萍; 胡文涛; 石丽芬; 崔介东; 李宝

来源：材料导报, 2022, S2: 94-97.

• 无碱硼铝硅酸盐玻璃
• 正交实验
• 极差分析法
• 应变点
• 退火点
• 软化点

无碱硼铝硅酸盐玻璃的应变点、退火点、软化点是与玻璃基板密切相关的性能指标，直接影响后期面板制程工艺，主要受玻璃成分与制造工艺的影响。本工作通过正交实验设计，采用极差分析法研究组分及水平量的变化对无碱硼铝硅酸盐玻璃的应变点、退火点、软化点的影响规律。结果表明：SiO2对应变点、退火点、软化点的影响总体波动范围较小，Al2O3含量的增加会相应地提高玻璃的应变点、退火点及软化点，B2O3含量的增加会显著降低玻璃的应变点、退火点、软化点；优选66%～69%(若无特殊说明以下均为摩尔分数)SiO2,11%～14%Al2O3,5%～8%B2O3时，制备玻璃的应变点、退火点、软化点满足无碱硼铝硅酸盐玻璃性能指标要求。