浅析ATE的TMU和参数扫描测试方法

作者：孙宇凯; 刘鹏; 王君从; 王尧

来源：中国集成电路, 2022, 31(06): 85-89.

• ATE
• TMU
• 参数扫描

随着科学技术的快速发展，经济社会已进入大数据时代，集成电路都朝着高速高精度方向发展，进而对保障电路质量的电路测试的速度和精度也提出了新的要求。使用分立的设备测试电路，操作复杂，测试时间长，显然已经不能满足当前的测试需求。自动测试设备（Automatic Test Equipment，简称ATE）可同时提供数字、模拟和射频测试资源，有广泛的硬件和软件支持，在集成电路测试方面具有很大的优势。本文系统的介绍了ATE的时间测量单位（TMU）和参数扫描两种测试方法的原理，对比了两种测试方法的优缺点，并使用这两种方法对时钟电路的电参数进行了测试，对测试结果进行了简单对比。