一种精密直线位移台的五自由度误差测量装置

作者：赵会宁; 于连栋; 贾华坤; 陆洋; 蒲松

来源：2019-08-09, 中国, ZL201910734340.X.

本发明公开一种精密直线位移台的五自由度误差测量装置,包括精密直线位移台、五自由度误差测量单元(1)和垂直反射镜(2),所述垂直反射镜(2)放置于五自由度误差测量单元(1)相互垂直的凹陷处；所述五自由度误差测量单元(1)包括三自由度误差测量单元一(101)和三自由度误差测量单元二(102),所述三自由度误差测量单元一(101)和三自由度误差测量单元二(102)通过连接件(103)固定连接；所述垂直反射镜(2)包括方箱(201),所述方箱(201)的侧面上粘接有相互垂直的平面反射镜一(202)和平面反射镜二(203)；所述五自由度误差测量单元(1)与精密直线位移台的滑台固定连接,所述精密直线位移台的基座与垂直反射镜(2)固定连接。

• 单位
  合肥工业大学