表面缺陷深度的光声近场信号增强检测方法

作者:李海洋; 许家玮; 邓江; 潘强华; 李喆
来源:应用激光, 2023, 43(10): 170-178.
DOI:10.14128/j.cnki.al.20234310.170

摘要

采用有限元法研究了脉冲激光激励表面波在表面缺陷近场不同归一化深度的反射系数,验证表面波在缺陷近场处的信号增强现象。同时,通过对反射系数随距离变化的分析,建立反射信号增强区域半径的概念,并发现信号增强区域半径与表面缺陷的深度有关,拟合得到表面缺陷深度测量公式并分析矩形缺陷宽度对深度测量的影响,修正了测量表面缺陷深度的公式。此外,根据反射系数随缺陷深度变化的现象,分析归一化深度与表面波波长的关系。研究结果表明,利用反射系数测量缺陷深度时存在短波限制,也就是当表面波波长小于缺陷深度一半时,反射系数为与缺陷深度无关,此时反射系数为0.4。

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