Mn/6H-SiC(0001)界面的同步辐射光电子能谱研究

作者：武煜宇; 刘金锋; 孙柏; 刘忠良; 徐彭寿; 陈秀芳; 徐现刚

来源：核技术, 2008, 31(12): 900-904.

• 同步辐射
• 光电子能谱
• 欧姆接触
• Mn/SiC Synchrotron-radiation
• Photoelectron spectroscopy
• Ohmic contact
• Mn/SiC

本文利用同步辐射光电子能谱(SRPES)和X射线光电子能谱(XPS)对金属Mn在6H-SiC(0001)表面的生长模式和Mn/6H-SiC(0001)界面进行了研究。实验结果表明,常温下金属Mn在6H-SiC(0001)表面上表现为二维层状生长模式。随着金属Mn沉积膜厚的增加,样品表面金属性明显增强。沉积过程中,金属Mn并未与SiC衬底发生反应,界面间由于能带弯曲导致费米能级向下移动,并计算出肖特基势垒高度(SBH)大约为1.79eV。当沉积膜厚达到2nm后,样品于250℃退火导致金属Mn向衬底扩散,但未与衬底发生反应。样品于500℃退火后界面间形成Mn的硅化物。

• 单位
  晶体材料国家重点实验室; 中国科学院合肥智能机械研究所; 山东大学; 中国工程物理研究院流体物理研究所; 中国科学技术大学; 中国科学院，合肥智能机械研究所