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摘要
针对倒装芯片内部焊球缺陷难以检测的问题，提出了基于声固多物理场耦合的超声激振检测方法．首先，建立倒装芯片超声激振检测仿真模型，模拟了含有典型缺陷(缺球和虚焊)的倒装芯片在超声激励下的振动响应，仿真结果显示焊球缺失和虚焊会引起倒装芯片振动速度的明显变化；其次，搭建超声激振倒装芯片检测系统，对倒装芯片进行检测，获取含不同缺陷倒装芯片的实际振动信号；最后，利用核主成分分析算法改进多粒度级联森林网络，对含典型缺陷的倒装芯片振动信号进行识别与分类．仿真和实验结果验证了基于多粒度级联森林网络和超声激振技术检测倒装芯片焊球缺陷的有效性．
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