溶胶-凝胶法制备氧化钒薄膜的结构及特性研究

作者：何琼; 许向东; 温粤江; 蒋亚东; 马春前; 敖天宏; 黄锐; 孙自强

来源：实验技术与管理, 2013, (03): 35-38.

DOI：10.16791/j.cnki.sjg.2013.03.010

• 氧化钒薄膜
• 溶胶-凝胶
• 退火 vanadium oxide films
• Sol-Gel
• annealing

利用溶胶-凝胶法制备了氧化钒薄膜,在大气环境及400℃下、对产物进行不同时间的退火处理。利用扫描电子显微镜、X射线衍射仪、高阻仪、紫外-可见分光光度计和傅里叶红外光谱仪,对薄膜的形貌、晶态、电学和光学特性等进行了系统的分析。结果表明,退火时间明显地影响溶胶-凝胶法制备氧化钒薄膜的化学结构及光电性能:退火时间过短,薄膜中有机成分不能完全分解、并且结晶度低;退火1h时,薄膜主要成分为V2O5和VO2,此时薄膜电阻低、但光吸收性弱;退火2h以上,薄膜中的主要成分为V2O5,此时薄膜电阻变大、但光吸收性有所加强。研究了退火时间对溶胶-凝胶制备氧化钒薄膜的化学结构及光电特性的影响,揭示了相关的微观机理。

• 单位
  电子薄膜与集成器件国家重点实验室; 电子科技大学; 光电信息学院