微型三坐标测量机定位精度的研究

作者：赵强; 杨川; 张志

来源：机床与液压, 2008, (11): 88-90.

• 步进电机
• 压电陶瓷
• 激光干涉仪
• 闭环控制 Stepper motor
• Piezoelectric ceramic
• Laser interferometer
• Closed-loop control

为了提高微型三坐标测量机粗定位平台的定位精度,在不增加新硬件的基础上,构建了由激光干涉仪、工控机和步进电机组成的粗定位闭环控制系统。并给出了步进电机在开环和闭环状态下的定位检测数据。检测结果表明:该系统明显地提高了步进电机的定位精度,满足了系统对于粗定位平台的定位要求。

• 单位
  西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室; 西安交通大学